一、脈沖放電氦離子化檢測器(PDHID)是一種靈敏度高的通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應,特別適合高純氣體的分析,是能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。
二、隨著國民經濟的快速發(fā)展,氣體工業(yè)特別是高純和超高純氣體以及電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中痕量雜質的檢測是生產高純氣體和電子工業(yè)用氣的關鍵環(huán)節(jié),而這些氣體中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點,原有的熱導等色譜檢測器均無法滿足高純氣體分析的要求。
三、技術原理:
1、脈沖放電間隔和功率:
PDHID中放電電極距離為1.6mm,改變充電時間可改變經過初級線圈的放電功率。因放電時間僅為1μs,而脈沖周期達幾百微秒,絕大部分時間放電電極是空載。
2、偏電壓:
在放電區(qū)相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大,很快即達飽和。PDHID在飽和區(qū)內工作,噪聲較低。
3、通過放電區(qū)的氦流速:
保持放電區(qū)的潔凈,以便氦被激發(fā);它作為尾吹氣加入,以減少被測組分在檢測器的滯留時間。
4、電離方式和性能特征:
氦中放電發(fā)射出13.5-17.7eV的連續(xù)輻射光進行光電離;被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB,產生信號,或直接電離載氣和雜質產生基流;亞穩(wěn)態(tài)氦與組分反應電離產生信號,或與雜質反應電離產生基流。